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某巨型半导体行业制造厂机构设在长四角区县,首要种植晶圆和集成电路芯片。在种植阶段中,中,晶圆打磨和抛光剂阶段中,形成更多机磨液生活污水,平均产生量约50吨。伴随生活污泥中富含高溶度浮动物、废金属铝离子及巧妙移除剂,间接产生会对坏境会导致非常严重危害,机构需要修建技术操作措施。
生产废水有效成分及因素
打磨液生活污水具体的来始于晶圆制作中的无机化学物理打磨抛光(CMP)工艺程序,具体被污染的物收录:
浮窗颗粒肥料物
:二防氧化物硅、防氧化物铝等磨研颗料,比表面积在0.1-1μm,盐浓度可以达到2000mg/L。
复合化合物
:铜、铁、锌等,来源于cnc精密机械加工垫磨坏及晶圆表面层铝合金层,铜正离子氨水浓度约50mg/L。
可挥发更改剂
:还包括表明可溶性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸偏碱性性成分
:pH值价格波动大,通畅在2-11之間。
处理的工艺操作流程
重要性污水功能,采取“预治疗+血生化+深层治疗”搭配施工工艺:
调接池
:均衡教育水的质量水流量,增加酸碱平衡调理pH至中性化。
混疑沉淀物中
:加药系统PAC(缩聚氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),清除悬浮按钮物和氢氧化铁,沉降后SS清除率>90%。
催化反应脱色
:主要采用Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料可挥发增长剂,COD弄掉率达60%。
生物工程处置
:MBR膜生物技术反馈器进三步挥发乘余可挥发物,COD降下来100mg/L下面的。
阴离子对调
:专门用环氧树脂吸收铜亚铁离子,出液铜硫含量<0.5mg/L。
砂滤+吸附性炭滤出
:切实保障出水量浑浊,满足《污水处理站综和排放规定规定》(GB8978-1996)一级通过成绩规定。
之后功效
装置进行可靠后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜化合物<0.3mg/L。
循环率达40%,乘余达到标准的废气排放,年削减废水处理方法的废气排放1.10万吨。
进行处理投资成本约15元/吨,远底于职业均值。