某半导体设备厂在呈现的过程 中施用盐酸系定影液，呈现高密度含NOx废水办理工艺，日办理量50吨。废水办理工艺中含NO2-达2000mg/L，且包含氢化物发生器有机的光刻胶材质，办理困难比较大。 2. 废水处理方法部分及来源于 显影液繁琐流程废弃物（基本环保问题源） 晶圆冲洗废气 有机废气清洗塔排水口 3. 治理 施工工艺的流程 采用了"高级的防氧化+有级菌物治理"转型升级工艺设备： 三氧硫化 ：根据三氧会造成器造成O3，将难生物降解有机肥料物葡萄糖被氧化为小原子类物质，同一将NO2-被氧化为NO3-。 生物体膜作用器（MBR） ： 第二级：缺养区域环境下加药系统甲醇身为碳源，促使反反硝化细菌作用 第二种级：好氧生物学膜进这一步可降解有机肥料物 电化工的深度正确处理 ：选取钛基耐磨涂层探针，利用电解法目的全面转换稳定度被污物。 4. 既定效率 NOx总氮低于8mg/L下面 COD安稳在30mg/L以內 废液中水回用率达60% 整体开机运行能耗把握在3.5kWh/吨水，较一般施工工艺低能耗20%。