该晶圆生產销售加工厂坐落于华中地,一般生產销售89英寸半导体芯片晶圆,日访问量化工废水排卸量约800吨。在生產销售方式中使用的更多氢佛酸做晶圆蚀刻,会造成化工废底层的水中氟化物溶液浓度敢达200-300mg/L,远超我国排卸标准化(10mg/L下类)。
废气化学物质及由来
生活污水重要产于几个阶段:
晶圆蚀刻生产工艺
:含高氧浓度氟化物(HF)、硝酸钠及少量出天价属
化工机器打磨抛光(CMP)化工废水
:含纳米级级硅粒子、生产络合剂
环保设备擦拭污废水
:含异丙醇、挥发酚等有机会物
解决技术注意事项
用于"耐腐蚀水解+水泥混凝土水解+高度滤过"三类加工系统性:
特级补救
:加药系统氯化钙和氢防氧化钙,产生氟化钙奠定,氟化物洗去率达85%
一级办理
:填加PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),彻底清除橡胶胶体部分态被大气污染物
二级外理
:实现多材质过滤装置器和抗逆性炭吸附性,冒水氟化物氧化还原电位保持稳定在8mg/L有以下
重中之重主设备包扩:pH智能调接操作系统、斜管石雕文化v型滤池、板框带式压滤机(废水出现脱水)。
最中结果
顶目电脑运行3年监测技术数据报告彰显:
氟化物均值渗透压:7.2mg/L(最低部委标准规定)
COD彻底清除率:92%
污泥干化含水分率:≤65%
年出售氟化钙副车辆约150吨,保证 能源化应用