创业项目原型
苏州某半导厂制作环节中并且呈现高硅废液(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废液(F⁻ 200-300mg/L)。每种废液搭配时易构成氟硅酸电解质溶液,传统式化学积累法无法安全达到。内容耍求一起除掉硅和氟(进行排放标淮:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废气物质及来原
通常组成成分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
源于
:晶圆刻蚀污水处理、CMP研磨机 污水处理、机 消毒水
加工加工步奏
联动水解时候
:
有级反映池
:
首先级添加Ca(OH)₂自动生成CaF₂和CaSiO₃沉积;
第十二级添加PAC(聚合物氯化铝)武器锻造二沉池。
固液隔离关键时期
:
超滤膜模式
:应用0.02μm内径膜元件公款私存电解质溶液硅和微细凝固物。
长度脱氟关键时期
:
生物氧化的铝吸塔
:残渣氟阴离子溶解祛除。
然后结果
出水出水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远好于国家标淮。
超滤膜控制系统通量安稳在15LMH,化学反应清洁生长期延长至至60天。
工业废水经压滤后含水分率<65%,可按普遍固体废物处里。