伤害某半导基带芯片制作厂厂,晶圆精加工环节中引起含硅、氟的独特电镀化工废水,装修设计加工外理投资规模1200吨/日。电镀化工废水材料很复杂,具有刺激性纳米级级硅颗料及盐酸,传统意义加工外理手段其特性很难标准。
废水处理工艺材料及來源
主耍环境工业废气
:胶体溶液硅(100-500nm粒度分布)、氟阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
收入生产工艺
:晶圆刻蚀工业化工废水(45%)、CMP物理机械性拋光工业化工废水(40%)、环保设备清洗阴道水(15%)
工作鑫霖环保流程
全新采取"物理化学析出+特殊工种膜分割"技术水平自驾路线:
钙盐沉淀物
:加药氯化钙彻底清除氟化合物(导出CaF2滤渣)
水解酸化池反映
:分手后复合斜管沉淀池剂变现溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm钻孔大小膜挪作他用微细颗粒状
反参透系统软件
:脱盐率>98%,回笼率75%
汽化沉淀
:浓水段体现氟化物零摆放
既定体验
氟化物酸度:<8mg/L(低过发展中国家特一级原则10mg/L)
硅含锌量:<5mg/L
污水从而共享循环率:70%应用在闭式圆形冷却塔塔皮肤补水
危险废弃物减药:蒸馏残留量较传统型加工制作工艺 降低60%